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    • 专利摘要:
    本發明提供可適當地評估配線圖案之電阻值之變異等，而能決定配線圖案之導電檢查之適當的判定基準值之基板檢查裝置等。此基板檢查裝置1、用以對於各自形成有多數配線圖案的多數單位基板相連接而形成的片狀基板，進行該片狀基板內之該單位基板的該配線圖案之導電性相關的評估。電阻量測部17利用第1及第2檢查夾具13、14以量測該配線圖案上所設定的2個量測位置間之電阻值。控制部11之量測電阻值評估部113藉由以評估單位片狀基板作為評估單位而設定的各配線圖案之基準電阻值為基準，計算由電阻量測部17所量測得之評估單位片狀基板內各單位基板的各配線圖案之量測電阻值的偏離程度。
    公开号:TW201305572A
    申请号:TW101125340
    申请日:2012-07-13
    公开日:2013-02-01
    发明作者:Munehiro Yamashita；Hideaki Tsuji
    申请人:Nidec Read Corp；
    IPC主号:G01R31-00
    专利说明:
    基板檢查裝置及基板檢查方法
    本發明係關於用來進行形成於基板上的配線圖案之導電性相關評估的基板檢查裝置及基板檢查方法。
    形成於基板上的配線圖案之導電檢查，係量測設定於配線圖案上的2個量測位置間之電阻值，並根據其量測結果來進行良否判定。於此一配線圖案之電阻值的量測，為了提高量測值之精度，有人提議採用習知之4端子量測法(參照專利文獻1)。 [習知技術文獻]
    [專利文獻]日本特開平10-123189號公報
    另一方面，近年來，隨著微細化之日益進展，配線圖案之寬度逐漸縮窄，配線圖案之寬度(或厚度)的變異對於配線圖案之電阻值所產生的影響也漸增大。因此，配線圖案之電阻值之變異大，在如上述般以高精度量測電阻值之場合，即使判定為優良，亦存在有諸多由判定基準值偏離的情形。此乃由於判定基準值係以設計(理論)基準值為基礎加以設定，而無法將製程中的配線圖案之寬度或厚度的變異之影響列入考慮所致。基於此一緣故，採用4端子量測法，即使能以良好之精度量測配線圖案之電阻值，有時其判定基準值本身並未經有效的設定。
    因此，本發明之待解決的課題，係提供可適當地評估配線圖案之電阻值之變異等，而能決定配線圖案之導電檢查之適當的判定基準值之基板檢查裝置及基板檢查方法。
    為了解決上述課題，本發明之基板檢查裝置的第1態樣係關於一種基板檢查裝置，用以對於各自形成有多數配線圖案的多數單位基板相連接而形成的片狀基板，進行該片狀基板內之該單位基板的該配線圖案之導電性相關的評估；包含：基板固持機構，用以固持該片狀基板；探針單元，具有多數探針，該多數探針分別接觸於由該基板固持機構所固持的該片狀基板內之至少一個該單位基板之該配線圖案上所設定的2個量測位置；電阻量測部，利用該探針單元之該探針以量測該配線圖案上所設定的該2個量測位置間之電阻值；及量測電阻值評估部，以既定之基準電阻值作為基準，計算由該電阻量測部所量測得的既定之評估單位片狀基板內之該各單位基板之該各配線圖案的量測電阻值之偏離程度。
    又，本發明之基板檢查裝置的第2態樣，係於上述第1態樣之基板檢查裝置中，該量測電阻值評估部根據該各配線圖案之量測電阻值的該偏離程度之計算結果，而檢測在該評估單位片狀基板內各位置之該配線圖案的該量測電阻值之該偏離程度。
    又，本發明之基板檢查裝置的第3態樣，係於上述第2態樣之基板檢查裝置中，該量測電阻值評估部將該評估單位片狀基板內各位置的該配線圖案之該量測電阻值之該偏離程度，以和該評估單位片狀基板內之座標資訊相關連之方式檢測出。
    又，本發明之基板檢查裝置的第4態樣，係於上述第2態樣之基板檢查裝置中，該量測電阻值評估部計算該評估單位片狀基板內之該各單位基板內之該配線圖案之該量測電阻值之偏離程度，使其與該單位基板之該評估單位片狀基板內之位置資訊相關連。
    又，本發明之基板檢查裝置的第5態樣，係於上述第2至4態樣中任一態樣之基板檢查裝置中，該量測電阻值評估部將在檢測出之該評估單位片狀基板內各位置的該配線圖案之該量測電阻值之該偏離程度，以圖解方式顯示於既定之顯示部。
    又，本發明之基板檢查裝置的第6態樣，係於上述第1至5態樣中任一態樣之基板檢查裝置中，更包含導電判定部，該導電判定部根據該電阻量測部所量測得之評估單位片狀基板內之該各配線圖案的該量測電阻值、該量測電阻值之平均值亦即平均電阻值、及該量測電阻值評估部所計算得之該評估單位片狀基板內之該各配線圖案之該量測電阻值之偏離程度的至少其中之一，決定與該各配線圖案的導電性相關之判定基準值；並藉由比較該各配線圖案之該量測電阻值與該判定基準值，而進行該評估單位片狀基板內之該各配線圖案之良否判定。
    又，本發明之基板檢查裝置的第7態樣，係於上述第1至6態樣中任一態樣之基板檢查裝置中，該量測電阻值評估部取該評估單位片狀基板內之該單位基板的該各配線圖案之該量測電阻值的平均值，將其結果得到之平均量測電阻值使用作為該基準電阻值。
    又，本發明之基板檢查裝置的第8態樣，上述第7態樣之基板檢查裝置中，該量測電阻值評估部計算以該平均量測電阻值為基準的偏差、偏差值或標準偏差，以作為該量測電阻值之該偏離程度。
    又，本發明之基板檢查裝置的第9態樣，係於上述第1至6態樣中任一態樣之基板檢查裝置中，該量測電阻值評估部所使用之該基準電阻值，為該評估單位片狀基板內之該單位基板的該各配線圖案之電阻值的設計理論值。
    又，本發明之基板檢查裝置的第10態樣，係於上述第1至7及第9態樣中任一態樣之基板檢查裝置中，該量測電阻值評估部計算該量測電阻值與該基準電阻值之差值，以作為該量測電阻值之該偏離程度。
    又，本發明之基板檢查裝置的第11態樣，係於上述第1至10態樣中任一態樣之基板檢查裝置中，該探針單元之該探針係在該片狀基板內的至少一個該單位基板之該配線圖案上所設定的該各量測位置逐一設置2根，該2根探針中之一根係用來對該配線圖案供應檢查用之電流，另一根探針係用來量測該配線圖案之該量測位置間的電位差。
    又，本發明之基板檢查方法的第1態樣，係關於一種基板檢查方法，用以對於各自形成有多數配線圖案的多數單位基板相連接而形成的片狀基板，進行該片狀基板內之該單位基板的該配線圖案之導電性相關的評估；包含：量測階段，以一基板固持機構固持該片狀基板，對於被固持之該片狀基板內的至少一個該單位基板之該配線圖案上所設定的2個量測位置以探針接觸之，經由該探針量測該配線圖案之該量測位置間的電阻值；偏離程度計算階段，以既定之基準電阻值作為基準，計算在該量測階段所量測得的既定之評估單位片狀基板內之該各單位基板的該各配線圖案之量測電阻值的偏離程度。
    依基板檢查裝置及基板檢查方法的上述第1態樣，係以對於作為評估單位的評估單位片狀基板逐一設定的各配線圖案之基準電阻值為基準，計算量測得之評估單位片狀基板內各單位基板的各配線圖案之量測電阻值的偏離程度。因此，根據該量測電阻值之偏離程度，可適當地評估配線圖案之電阻值之變異等，而可決定配線圖案之導電檢查之適當的判定基準值。其結果，乃可執行確實之導電檢查。
    又，因為能以評估單位片狀基板作為評估單位來評估配線圖案之量測電阻值的偏離程度，故而可對評估單位片狀基板內各位置的配線圖案之量測電阻值之偏離程度進行評估。其結果，乃能對於在片狀基板的一部分，配線圖案之厚度較設計值為薄而電阻值有增高傾向等片狀基板之製程上的特性，加以掌握或評估。
    依基板檢查裝置之上述第2態樣，因為能檢測出評估單位片狀基板內各位置的配線圖案之量測電阻值之偏離程度，依該檢測結果，乃能對於在片狀基板的一部分，配線圖案之厚度較設計值為薄而電阻值有增高傾向等片狀基板之製程上的特性，加以掌握或評估。
    依基板檢查裝置之上述第3態樣，由於評估單位片狀基板內各位置的配線圖案之量測電阻值之偏離程度，能以和該評估單位片狀基板內之座標資訊相關連之方式檢測出，故在評估單位片狀基板內各位置的配線圖案之量測電阻值之偏離程度之掌握或評估能較容易且確實地進行。
    依基板檢查裝置之上述第4態樣，由於可計算該評估單位片狀基板內之該各單位基板內之該配線圖案之該量測電阻值之偏離程度，使其與該單位基板之該評估單位片狀基板內之位置資訊相關連，故在評估單位片狀基板內各單位基板之位置的配線圖案之量測電阻值之偏離程度之掌握或評估能較容易且確實地進行。
    依基板檢查裝置之上述第5態樣，由於在檢測出之評估單位片狀基板內各位置的配線圖案之量測電阻值之偏離程度可以圖解方式顯示於既定之顯示部，故藉由等高線顯示等顯示形式乃容易掌握在評估單位片狀基板各位置的量測電阻值之偏離程度、及偏離程度之分布之特性等。
    依基板檢查裝置之上述第6態樣，由於導電判定部根據電阻量測部所量測得之評估單位片狀基板內各配線圖案的量測電阻值、量測電阻值之平均值亦即平均電阻值、及量測電阻值評估部所計算得之評估單位片狀基板內各配線圖案的量測電阻值之偏離程度的至少其中之一，而決定與各配線圖案的導電性相關之判定基準值，並依該判定基準值進行各配線圖案之導電性相關的良否判定。因此，乃能決定相應於配線圖案的電阻值之變異度等的適當之導電檢查之判定基準值，而能進行確實之導電檢查。
    依基板檢查裝置之上述第7態樣，能以評估單位片狀基板內各配線圖案之量測電阻值的平均值亦即平均電阻值作為基準電阻值，對於各配線圖案之量測電阻值之偏離程度進行評估。
    依基板檢查裝置之上述第8態樣，可利用評估單位片狀基板內各配線圖案之量測電阻值之偏差、偏差值或標準偏差，對於各配線圖案之量測電阻值之偏離程度、或變異程度等進行評估。偏差或偏差值便於用來評估自各配線圖案之量測電阻值自平均電阻值的偏離程度等。標準偏差便於用來評估在評估單位片狀基板內之各單位基板之對應的(或同種類的)配線圖案之量測電阻值整體的變異程度等。
    依基板檢查裝置之上述第9態樣，能以評估單位片狀基板內各配線圖案之電阻值的設計理論值作為基準電阻值，而評估各配線圖案之量測電阻值之偏離程度。
    依基板檢查裝置之上述第10態樣，可藉由評估單位片狀基板內各配線圖案之基準電阻值與量測電阻值之差值，而評估各配線圖案之量測電阻值之偏離程度等。
    依基板檢查裝置之上述第11態樣，藉由4端子量測法可正確地量測配線圖案的電阻值，且能正確地評估量測得的電阻值之以基準電阻值作為基準的偏離程度。其結果，乃能決定配線圖案之導電檢查之適當的判定基準值，而能進行確實之導電檢查。
    茲參照圖1及圖2，說明依本發明一實施態樣的基板檢查裝置1之構成。此一基板檢查裝置1係如圖1及圖2所示般，包含：控制部11、基板固持機構12、作為探針單元的第1與第2檢查夾具13、14、第1與第2檢查夾具升降機構15、16、電阻量測部17、顯示部18及操作部19。藉由此基板檢查裝置1，對於由各自形成有多數配線圖案2的多數單位基板3相連接而形成的片狀基板4，進行片狀基板4內之單位基板3的各配線圖案2之導電性相關的評估與檢查。
    此處，圖3係顯示被分割前的片狀基板亦即大基板5之構成的圖式。由大基板5藉由分割方式得到多數(例如4片)片狀基板4。又，由此片狀基板4，如圖4所示般，以分割方式得到多數單位基板3。例如，在如圖4所圖示的片狀基板4，有25片之單位基板3連接成5行5列。形成於單位基板3的各配線圖案2之電阻值的量測及導電檢查，係於多數單位基板3連接成片狀基板4(例如，圖4所示之片狀基板4)的狀態進行之。各單位基板3形成多數配線圖案2，具有彼此相同之構成。又，於本實施態樣中，各配線圖案2的電阻值之量測及導電檢查，雖係在將大基板5分割為多數而得到之片狀基板4的狀態進行之，但電阻值之量測及導電檢查亦可在分割前之大基板5的狀態進行之。
    基板檢查裝置1之控制部11包含有CPU及記憶裝置等而構成，如圖1所示般，包含基板操縱處理部111、電阻量測處理部112、量測電阻值評估部113及導電判定部114。後面將說明控制部11的這些機能要素之功能及動作。
    基板固持機構12係如圖1及圖2所示般，具有基板固持部121及XY驅動機構122。基板固持部121用來固持片狀基板4。XY驅動機構122利用後述之控制部11的基板操縱處理部111之控制，而將基板固持部121朝X軸方向及Y軸方向驅動，藉以調整受固持之片狀基板4與後述之第1及第2檢查夾具13、14的位置關係。
    第1及第2檢查夾具13、14包含有圖5所示之多數探針20、及用來固持探針20的夾具本體131、141。多數探針20係與設在片狀基板4內之1個或多數之單位基板3的配線圖案2上之各量測位置P1、P2(參照圖5)相對應而配置。探針20的前端由夾具本體131、141的與片狀基板4之相向面131a、141a伸出既定之伸出高度。因此，當藉由後述之第1及第2檢查夾具升降機構15、16使第1及第2檢查夾具13、14接近並抵接於片狀基板4時，第1及第2檢查夾具13、14的各探針20之前端抵接在片狀基板4內之單位基板3的對應之各配線圖案2上的既定位置而導電。第1檢查夾具13抵接在片狀基板4的頂面側，而第2檢查夾具14則抵接在片狀基板4的底面側。
    在第1及2檢查夾具13、14對於片狀基板4的一次抵接動作無法涵蓋到片狀基板4內所有的單位基板3的情形時，利用基板固持機構12的XY驅動機構122使片狀基板4依序移動，藉由反複進行第1及第2檢查夾具13、14的抵接動作，而進行對於片狀基板4內全部單位基板3的配線圖案2之電阻值的量測及導電檢查。
    又，於本實施態樣中，因為是如圖5所示般，藉由4端子量測法來量測配線圖案2的電阻值，故於片狀基板4內的1個或多數單位基板3內之配線圖案2上所設定之2個量測位置P1、P2，各設置2根第1及第2檢查夾具13、14之探針20。而該2根探針20其中的一根探針20a用於對配線圖案2檢查用的電流之供應及電流值的量測，另一根探針20b用於配線圖案2的量測位置P1、P2間之電位差的量測。
    第1及第2檢查夾具升降機構15、16，在由基板固持機構12所固持的片狀基板4之上側及下側，以可使第1及第2檢查夾具13、14各自如圖2之箭頭A1，A2所顯示般升降的方式固持著該第1及第2檢查夾具13、14，並藉由電阻量測處理部112的控制而朝上下升降驅動第1及第2檢查夾具13、14。
    電阻量測部17包含電流供應量測部171、電位差量測部172及切換單元173。電流供應量測部171及電位差量測部172係如圖5所示般，可利用配線經由切換單元173與第1及第2檢查夾具13、14的各探針20電性連接。切換單元173包含未圖示的多數切換元件而構成，藉由電阻量測處理部112之控制，而進行電流供應量測部171及電位差量測部172與第1及第2檢查夾具13、14之各探針20的ON/OFF連接及連接關係之切換。
    電流供應量測部171藉由電阻量測處理部112的控制，經切換單元173及第1與第2檢查夾具13、14的探針20，將檢查用電流供應至片狀基板4內的1個或多數單位基板3內之各配線圖案2的量測位置P1、P2間，並量測其時各配線圖案2的量測位置P1、P2間流過的電流值。
    電位差量測部172藉由電阻量測處理部112的控制，利用切換單元173及第1與第2檢查夾具13、14的探針20，量測片狀基板4內的1個或多數單位基板3內之各配線圖案2的量測位置P1、P2間的電位差。
    顯示部18藉由量測電阻值評估部113及導電判定部114的控制，而顯示各配線圖案2的電阻值之量測結果、各單位基板3的導電檢查之檢查結果等。操作部19接受對於此基板檢查裝置1的操作。
    控制部11之基板操縱處理部111控制基板固持機構12等，進行片狀基板4之移送、及配線圖案2之電阻值量測時之位置調節等。
    電阻量測處理部122控制第1及第2檢查夾具升降機構15、16、和電阻量測部17之電流供應量測部171、電位差量測部172及切換單元173，並量測由基板固持機構12所固持的片狀基板4內之各單位基板3的各配線圖案2之量測位置P1、P2間之電阻值。電阻值之量測係根據電流供應量測部171與電位差量測部172各自量測得之各配線圖案2之量測位置P1、P2間流過的電流值及量測位置P1、P2間之電位差值，由電阻量測處理部113計算。具體而言，將量測得之電位差值除以量測得之電流值而計算電阻值。
    量測電阻值評估部113以對於成為評估單位的片狀基板4亦即評估單位片狀基板4(例如，圖4之片狀基板4)內之各配線圖案2所設定的基準電阻值作為基準，而計算題電阻量測處理部122所量測得之片狀基板4內各單位基板3的各配線圖案2之量測電阻值之偏離程度。評估單位片狀基板4只要是由多數單位基板3相連成之片狀基板4即可，任意之片狀基板4均可加以設定。例如，在如本實施態樣般施行配線圖案2之電阻值之量測的片狀基板4，為以較大之片狀基板4分割而得到之情形，亦可將較大之片狀基板4(例如，圖3之大基板5)設定作為評估單位片狀基板4。於本實施態樣中，雖以由基板固持機構12所固持的片狀基板4作為評估單位片狀基板4，但亦可以較由基板固持機構12所固持的片狀基板4更大的片狀基板4(例如，大基板5)作為評估單位片狀基板4。
    作為量測電阻值之偏離程度的計算基準之基準電阻值係對應於一個單位基板3內所設置之各配線圖案2而設定。又，在單位基板3內存在有多數具有相同設計形狀的相同種類之配線圖案2的情形時，亦可使相同種類之配線圖案2的基準電阻值共通化，而僅依單位基板3內設置之配線圖案2的種類之數量設定基準電阻值。亦即，基準電阻值的設定數量，僅限於對一個評估單位片狀基板4其單位基板3內所設的配線圖案2之數量(或者，單位基板3內所設置之配線圖案2的種類之量)。又，此種基準電阻值之群組可就各評估單位片狀基板4分別設定為不同群組，亦可對於多數評估單位片狀基板4設定為相同群組之基準電阻值。
    於本實施態樣中，係將評估單位片狀基板4內之各單位基板3之彼此對應的配線圖案2之量測電阻值取其平均所得到之平均電阻值設定為基準電阻值。於各單位基板3內設有多數相同種類之配線圖案2的情形時，可將相同種類之配線圖案2之量測電阻值相加所得到之平均電阻值作為基準電阻值。於變化例中，亦可將評估單位片狀基板4內之單位基板3所設置的各配線圖案2之設計上之理論電阻值亦即設計理論值設定設作為基準電阻值。
    例如吾人可計算以評估單位片狀基板4內之平均量測電阻值或設計理論電阻值為基準的各配線圖案2之偏差、偏差值或標準偏差，來作為量測電阻值評估部113所計算之各配線圖案2之量測電阻值的偏離程度。各配線圖案2之偏差、偏差值或標準偏差之計算，採用對應之平均電阻值。偏差或偏差值便於用來評估自各配線圖案2之量測電阻值自平均電阻值或設計理論電阻值的偏離程度等。標準偏差便於用來評估在評估單位片狀基板4內之各單位基板2之對應的(或同種類的)配線圖案2之量測電阻值整體的變異程度等。又，於一變化例中，在將各配線圖案2之設計理論值設定為基準電阻值的情況，亦可計算設計理論值與量測電阻值之差值以作為各配線圖案2之量測電阻值之偏離程度。
    茲參照圖6具體說明之。在圖6所示之例子中，利用預先登記之基板識別資訊及配線識別資訊，來進行評估單位片狀基板4內之各單位基板3及配線圖案2之識別及位置之判定等。具體言之對評估單位片狀基板4內之各單位基板3賦予基板編號(例如，1、2、3、‧‧‧等)以作為基板識別編號，對於各單位基板3內之配線圖案2賦予線路編號(例如，1、2、3、‧‧‧等)以作為配線識別編號。又，在進行較大之片狀基板4(例如，大基板5)內的各單位基板3之識別及位置之判定等的情況時，可設定該大片狀基板4內的各單位基板3之基板識別資訊，或追加設定該大片狀基板4內所包含之各小片狀基板4的片狀基板識別資訊(例如，片狀基板編號等)。
    又，作為評估基準的平均電阻值之計算，係藉由將評估單位片狀基板4內的各單位基板3之相同線路編號的全部配線圖案2之量測電阻值加總，再求其平均值而得到。於此情形時，平均電阻值僅設定為與單位基板3內之配線圖案2相同數量。或者，在各單位基板3內存在有多數相同種類之配線圖案2的情形時，亦可將相同種類之配線圖案2之量測電阻值加總，再取其平均而計算出平均電阻值。於此情形時，平均電阻值僅設定為與單位基板3內之配線圖案2的種類相同數量。於圖6之例中，計算差分值以作為各配線圖案2之量測電阻值自基準電阻值之偏離程度。
    圖7係將設於評估單位片狀基板4內的各單位基板3的配線圖案2，按照電阻值的設計理論值由小而大逐漸增大的順序排序時的各配線圖案之量測電阻值，加以曲線化之圖式。圖7之曲線之横軸對應於配線圖案2在各單位基板3內的序號，縱軸對應於和各序號對應的配線圖案2之量測電阻值。又，圖7之曲線G1(實線之曲線)係關於評估單位片狀基板4內之基板編號1的配線圖案2，曲線G2(虛線之曲線)係關於評估單位片狀基板4內之基板編號2的配線圖案2。圖7中為求圖示之方便，而僅只顯示基板編號1、2的2個單位基板3之配線圖案2相關的曲線G1、G2，但事實上，將評估單位片狀基板4內之全部單位基板3的量測電阻值均加以曲線化。又，圖7中之箭頭A1顯示曲線G1中，量測電阻值為異常大的部分，吾人認為配線圖案2中存在有某些異常。量測電阻值評估部113亦可根據評估單位片狀基板4內之各單位基板3的各配線圖案2之量測電阻值，計算圖7所示之曲線G1、G2，將該曲線G1、G2顯示於顯示部18。
    又，藉由進行如圖7般之曲線顯示，可瞭解評估單位片狀基板4內之單位基板3之位置的偏離程度。因此，藉由顯示評估單位片狀基板4內之全部單位基板3，可反應單位基板3之位置的偏離程度，而設定判定基準電阻值。
    又，量測電阻值評估部113根據上述各配線圖案2之量測電阻值的偏離程度之計算結果，將評估單位片狀基板4內之各位置的配線圖案2之量測電阻值之偏離程度(以平均電阻值為基準的偏差或偏差值、或與設計理論值之差值)，以和評估單位片狀基板4上之位置資訊相關連之方式檢測出，並將該該檢測結果以圖解方式顯示於顯示部18。評估單位片狀基板4內之各位置之量測電阻值之偏離程度之檢測可採用各種形態。例如，亦可利用評估單位片狀基板4內各單位基板3之預先選定的1個或多數配線圖案2之量測電阻值自基準電阻值的偏離程度，檢測出評估單位片狀基板4內各位置之量測電阻值之偏離程度。或者，計算評估單位片狀基板4中各單位基板3內之預先設定的多數配線圖案2(或者，各單位基板3內之全部配線圖案2)之量測電阻值的偏離程度之平均值，利用對於各各單位基板3逐一獲得之偏離程度之平均值，檢測出評估單位片狀基板4內各位置之量測電阻值的偏離程度。評估單位片狀基板4內各配線圖案2之位置或各單位基板3之位置可根據上述配線識別資訊及基板識別資訊等獲得。
    量測電阻值評估部113所賦予關連之位置資訊，可利用評估單位片狀基板4上的位置資訊。此位置資訊可利用量測得之配線圖案2在評估單位片狀基板4上的XY座標資訊、或在評估單位片狀基板4上之單位基板的位置資訊。
    量測電阻值評估部113雖可將各配線圖案2之量測電阻值的偏離程度，以和位置資訊相關連之方式檢測出，但亦可以單位基板3為單位計算歸屬於該單位基板3內的配線圖案2之量測電阻值之偏離程度，使該計算得之偏離程度與單位基板3之位置資訊相關連。於此情形時，單位基板3之偏離程度，係計算此單位基板3之各配線圖案2之量測電阻值自基準電阻值的偏離程度，而計算得單位基板3的偏離程度(例如，偏離程度之平均值或偏差等)。又，此情形之位置資訊可利用評估單位片狀基板4內的單位基板3之位置資訊，例如可利用在評估單位片狀基板4上的縱横方向第幾個單位基板的位置資訊或評估單位片狀基板4上之XV座標資訊的位置資訊。
    又，關於評估單位片狀基板4內之各位置的量測電阻值之偏離程度的顯示形態，各種構成都可採用。例如，如圖8所示般，可採用在表示評估單位片狀基板4之範圍的影像領域181內，如地形圖之等高線般，將量測電阻值之偏離程度相同的地點以線(偏離程度之等高線)182~184連結的構成。或者，亦可將偏離程度之值的範圍分為幾個區域，各區域用不同顏色在影像領域181內分色顯示。或者，將評估單位片狀基板4內的位置以XY座標表示，將評估單位片狀基板4內之各位置的量測電阻值之偏離程度以Z座標表示，而形成圖示方式之顯示影像。
    導電判定部114根據電阻量測部17所量測得之評估單位片狀基板4內之各配線圖案2的量測電阻值、量測電阻值評估部113所計算得之各配線圖案2的平均電阻值、及量測電阻值評估部113所計算得之評估單位片狀基板4內之各配線圖案2的量測電阻值之偏離程度中的至少其中之一，而決定與各配線圖案2的導電性相關之判定基準值。又，導電判定部114將各配線圖案2之量測電阻值與判定基準值相比較，而進行評估單位片狀基板4內之各配線圖案2的良否判定。例如，設一容許上限電阻值作為判定基準值，若為量測電阻值低於容許上限電阻值之配線圖案2則判定為良好，而若量測電阻值超過容許上限電阻值則判定配線圖案2及該配線圖案2所歸屬之單位基板3為不良。於一變化例中，亦可追加導入一容許下限電阻值作為判定基準值，對於電阻值低於容許下限電阻值的配線圖案2及該配線圖案2所歸屬之單位基板3，就將其判定為不良。
    上述判定基準值係針對例如評估單位片狀基板4中的各單位基板3內之各配線圖案2設置。於此情形時，係對於一個單位片狀基板4，設定與各單位基板3內之配線圖案2之數目相同數量的判定基準值。或者，於一變化例中，在各單位基板3內設置有多數相同種類之配線圖案2的情形時，對於相同種類之配線圖案2其判定基準值亦可共通化。於此情形時，在一個單位片狀基板4中所設定之判定基準值的數量，與各單位基板3內之配線圖案2的種類之數目相同。
    又，關於判定基準值之具體的決定方法，例如，可將評估單位片狀基板4內之各配線圖案2的量測電阻值之平均值亦即平均電阻值，乘以既定之係數(例如，於容許上限電阻值之場合，此係數可取1.2或1.3；而於容許下限電阻值之場合，此係數可取0.8或0.7等)，而得到判定基準值。或者，亦可根據量測電阻值評估部113所計算出之各配線圖案2之量測電阻值的偏差值之分布，以偏差值對應於既定之閾值位準(例如，容許上限位準)的電阻值作為判定基準值(例如，容許上限電阻值)。或者，亦可根據電阻量測部17所量測得之各配線圖案2的量測電阻值設定判定基準值，使得評估單位片狀基板4內所含之全部配線圖案2(或單位基板3)中的既定比率之配線圖案2(或單位基板3)被判定為良好。
    特別是，本發明可依單位基板3之配線圖案2的量測電阻值之偏離程度，而計算在評估單位片狀基板4單位之由基準電阻值的偏離程度。因此，在對評估單位片狀基板4逐一進行檢查的情形時，一面依據形成於評估單位片狀基板4的單位基板3之位置資訊進行判定基準電阻值的修正，一面進行檢查。因此，在利用如4端子量測般之高精度的量測方法進行檢查的情形時，可修正判定基準電阻值而進行更正確的檢查。
    亦可將依上述方式決定之判定基準電阻值，作為用以決定該一判定基準電阻值的配線圖案2所歸屬的評估單位片狀基板4內之各單位基板3之良否判定的基準，而即時使用之。或者，亦可使用作為次一(或更後面的)評估單位片狀基板4內之各單位基板3的良否判定之基準。於前者之情形時，先進行作為檢查對象之評估單位片狀基板4內的各單位基板3之各配線圖案2的電阻值之量測及該量測電阻值自基準電阻值的偏離程度之計算。其次，根據該一結果決定各配線圖案2之判定基準電阻值，依該決定出之各配線圖案2的判定基準電阻值與量測電阻值，而進行評估單位片狀基板4內之各單位基板3的配線圖案2之良否判定。
    依本發明，可將預先初期設定的判定基準電阻值，以利用單位基板3之配線圖案2的實際量測得之量測值(偏離程度)計算出之新判定基準電阻值取代之，並利用該新判定基準電阻值進行良否判定。因此，可設定經過製程之影響的判定基準電阻值。又，此判定基準電阻值可依單位基板3之評估單位片狀基板4之位置而設定，故可設定更高精度的判定基準電阻值。
    其次，參照圖9說明基板檢查裝置1的操作順序。如圖8所示般，於步驟S1，進行將由未圖示的基板運送機構等送入之片狀基板4由基板固持機構12接受之等動作。於步驟S2，一面藉由基板固持機構12將片狀基板4內之量測對象部位朝向與第1及第2檢查夾具13、14相向的位置依序移動，一面藉由第1及第2檢查夾具升降機構15、16，使第1及第2檢查夾具13、14接觸或離開片狀基板4內之量測對象部位，而可量測片狀基板4內之各單位基板3的各配線圖案2之電阻值。
    於步驟S3，以對於評估單位的片狀基板4亦即評估單位片狀基板4(例如，圖4之片狀基板4)內之各配線圖案2所設定的基準電阻值作為基準，由量測電阻值評估部113，依上述方式計算出由電阻量測處理部122量測得之片狀基板4內各單位基板3的各配線圖案2之量測電阻值之偏離程度。於此步驟S3或其後的步驟中，亦可回應例如經由操作部19所輸入的顯示指令，在量測電阻值評估部113將片狀基板4內各單位基板3之各配線圖案2的量測電阻值之偏離程度以圖解方式顯示於顯示部18。
    於步驟S4，利用導電判定部114，依上述方式，決定評估單位片狀基板4內之各配線圖案2的導電性相關之判定基準值，藉由將各配線圖案2之量測電阻值與判定基準值加以比較，而進行評估單位片狀基板4內之各配線圖案2的良否判定。於步驟S5，藉由未圖示的基板運送機構等將片狀基板4送出到基板固持機構12外。
    如上述，依本實施態樣的基板檢查裝置1，以針對作為評估單位的評估單位片狀基板4逐一設定的各配線圖案2之基準電阻值之群組為基準，可計算量測得之評估單位片狀基板4內各單位基板3之各配線圖案2的量測電阻值之偏離程度。因此，根據該量測電阻值之偏離程度，可適當地評估配線圖案2之電阻值之變異等，而可決定配線圖案2之導電檢查之適當的判定基準值。其結果，乃可執行確實之導電檢查。
    又，由於能以評估單位片狀基板4為評估單位進行配線圖案之量測電阻值的偏離程度之評估，而可對評估單位片狀基板4內各位置的配線圖案2之量測電阻值之偏離程度進行評估。其結果，乃能對於在片狀基板4(例如，大基板5)的一部分，配線圖案2之厚度較設計值為薄而電阻值有增高傾向等片狀基板4之製程上的特性，加以掌握或修正。
    又，由於檢測出之評估單位片狀基板4內各位置的配線圖案2之量測電阻值之偏離程度可以圖解方式顯示於顯示部18，故依據顯示內容乃容易掌握評估單位片狀基板4(例如，大基板5)各位置的量測電阻值之偏離程度、及偏離程度之分布之特性等。
    又，導電判定部114根據電阻量測部17所量測得之評估單位片狀基板4內之各配線圖案2的量測電阻值、量測電阻值評估部113所計算得之各配線圖案2的量測電阻值之平均值亦即平均電阻值、及量測電阻值評估部113所計算得之評估單位片狀基板4內之各配線圖案2的量測電阻值之偏離程度中的至少其中之一，而決定與各配線圖案2的導電性相關之判定基準值，並依該判定基準值而進行各配線圖案2之導電性相關的良否判定。因此，乃能決定相應於配線圖案2的電阻值之變異度等的適當之導電檢查之判定基準值，而能進行確實之導電檢查。
    又，藉由4端子量測法可正確地量測配線圖案2的電阻值，且能正確地評估量測得的電阻值之以基準電阻值作為基準的偏離程度。其結果，乃能決定配線圖案2之導電檢查之適當的判定基準值，而能進行確實之導電檢查。
    1‧‧‧基板檢查裝置
    2‧‧‧配線圖案
    3‧‧‧單位基板
    4‧‧‧片狀基板
    5‧‧‧大基板
    11‧‧‧控制部
    111‧‧‧基板操縱處理部
    112‧‧‧電阻量測處理部
    113‧‧‧量測電阻值評估部
    114‧‧‧導電判定部
    12‧‧‧基板固持機構
    121‧‧‧基板固持部
    122‧‧‧XY驅動機構
    13‧‧‧第1檢查夾具
    14‧‧‧第2檢查夾具
    15‧‧‧第1檢查治升降機構
    16‧‧‧第2檢查夾具升降機構
    17‧‧‧電阻量測部
    171‧‧‧電流供應量測部
    172‧‧‧電位差量測部
    173‧‧‧切換單元
    18‧‧‧顯示部
    19‧‧‧操作部
    P1、P2‧‧‧量測位置
    圖1係依本發明一實施態樣之基板檢查裝置的方塊圖。
    圖2係顯示圖1之基板檢查裝置的基板固持機構及第1與第2之檢查夾具等之構成的圖式。
    圖3係顯示被分割前的片狀基板亦即大基板之構成的圖式。
    圖4係顯示圖3之大基板被分割成的片狀基板之構成的圖式。
    圖5係用以說明藉由圖1之基板檢查裝置量測配線圖案之電阻值時的電路構成之圖式。
    圖6係例示藉由圖1之基板檢查裝置所量測的評估單位片狀基板內的各配線圖案之量測電阻值、基準電阻值及量測電阻值的偏離程度(差分值)等之圖式。
    圖7係將設於評估單位片狀基板內的各單位基板的配線圖案，按照電阻值的設計理論值由小而大逐漸增大的順序排序時的各配線圖案之量測電阻值，加以曲線化之圖式。
    圖8係表示將在評估單位片狀基板內各位置的配線圖案之量測電阻值的偏離程度，以圖形方式顯示於顯示部之顯示例的圖式。
    圖9係顯示圖1之基板檢查裝置的操作順序之圖式。
    1‧‧‧基板檢查裝置
    11‧‧‧控制部
    111‧‧‧基板操縱處理部
    112‧‧‧電阻量測處理部
    113‧‧‧量測電阻值評估部
    114‧‧‧導電判定部
    12‧‧‧基板固持機構
    122‧‧‧XY驅動機構
    13‧‧‧第1檢查夾具
    14‧‧‧第2檢查夾具
    15‧‧‧第1檢查治升降機構
    16‧‧‧第2檢查夾具升降機構
    17‧‧‧電阻量測部
    18‧‧‧顯示部
    19‧‧‧操作部
    171‧‧‧電流供應量測部
    172‧‧‧電位差量測部
    173‧‧‧切換單元
    权利要求:
    Claims (12)
    [1] 一種基板檢查裝置，用以對於各自形成有多數配線圖案的多數單位基板相連接而形成的片狀基板，進行該片狀基板內之該單位基板的該配線圖案之導電性相關的評估；包含：基板固持機構，用以固持該片狀基板；探針單元，具有多數探針，該多數探針分別接觸於由該基板固持機構所固持的該片狀基板內之至少一個該單位基板之該配線圖案上所設定的2個量測位置；電阻量測部，利用該探針單元之該探針以量測該配線圖案上所設定的該2個量測位置間之電阻值；及量測電阻值評估部，以既定之基準電阻值作為基準，計算由該電阻量測部所量測得的既定之評估單位片狀基板內之該各單位基板之該各配線圖案的量測電阻值之偏離程度。
    [2] 如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置，其中，該量測電阻值評估部根據該各配線圖案之量測電阻值的該偏離程度之計算結果，而檢測在該評估單位片狀基板內各位置之該配線圖案的該量測電阻值之該偏離程度。
    [3] 如申請專利範圍第2項之基板檢查裝置，其中，該量測電阻值評估部將該評估單位片狀基板內各位置的該配線圖案之該量測電阻值之該偏離程度，以和該評估單位片狀基板內之座標資訊相關連之方式檢測出。
    [4] 如申請專利範圍第2項之基板檢查裝置，其中，該量測電阻值評估部計算該評估單位片狀基板內之該各單位基板內之該配線圖案之該量測電阻值之偏離程度，使其與該單位基板之該評估單位片狀基板內之位置資訊相關連。
    [5] 如申請專利範圍第2至4項中任一項之基板檢查裝置，其中，該量測電阻值評估部將在檢測出之該評估單位片狀基板內各位置的該配線圖案之該量測電阻值之該偏離程度，以圖解方式顯示於既定之顯示部。
    [6] 如申請專利範圍第1至4項中任一項之基板檢查裝置，其中，更包含導電判定部，該導電判定部根據該電阻量測部所量測得之評估單位片狀基板內之該各配線圖案的該量測電阻值、該量測電阻值之平均值亦即平均電阻值、及該量測電阻值評估部所計算得之該評估單位片狀基板內之該各配線圖案之該量測電阻值之偏離程度的至少其中之一，決定與該各配線圖案的導電性相關之判定基準值；並藉由比較該各配線圖案之該量測電阻值與該判定基準值，而進行該評估單位片狀基板內之該各配線圖案之良否判定。
    [7] 如申請專利範圍第1至4項中任一項之基板檢查裝置，其中，該量測電阻值評估部取該評估單位片狀基板內之該單位基板的該各配線圖案之該量測電阻值的平均值，將其結果得到之平均量測電阻值使用作為該基準電阻值。
    [8] 如申請專利範圍第7項之基板檢查裝置，其中，該量測電阻值評估部計算以該平均量測電阻值為基準的偏差、偏差值或標準偏差，以作為該量測電阻值之該偏離程度。
    [9] 如申請專利範圍第1至4項中任一項之基板檢查裝置，其中，該量測電阻值評估部所使用之該基準電阻值，為該評估單位片狀基板內之該單位基板的該各配線圖案之電阻值的設計理論值。
    [10] 如申請專利範圍第1至4項中任一項之基板檢查裝置，其中，該量測電阻值評估部計算該量測電阻值與該基準電阻值之差值，以作為該量測電阻值之該偏離程度。
    [11] 如申請專利範圍第1至4項中任一項之基板檢查裝置，其中，該探針單元之該探針係在該片狀基板內的至少一個該單位基板之該配線圖案上所設定的該各量測位置逐一設置2根，該2根探針中之一根係用來對該配線圖案供應檢查用之電流，另一根探針係用來量測該配線圖案之該量測位置間的電位差。
    [12] 一種基板檢查方法，用以對於各自形成有多數配線圖案的多數單位基板相連接而形成的片狀基板，進行該片狀基板內之該單位基板的該配線圖案之導電性相關的評估；包含：量測階段，以一基板固持機構固持該片狀基板，對於被固持之該片狀基板內的至少一個該單位基板之該配線圖案上所設定的2個量測位置以探針接觸之，經由該探針量測該配線圖案之該量測位置間的電阻值；偏離程度計算階段，以既定之基準電阻值作為基準，計算在該量測階段所量測得的既定之評估單位片狀基板內之該各單位基板的該各配線圖案之量測電阻值的偏離程度。
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    2017-09-21| MM4A| Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees|
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    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP2011156447A|JP2013024582A|2011-07-15|2011-07-15|基板検査装置及び基板検査方法|
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